7纳米光刻机(7纳米光刻机是什么概念)

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目前7纳米芯片是最先进的工艺,产能有限,只有少数厂商拿得到货使用在旗舰机型上,主要还是由于工艺复杂,产能不足造成的,生产7纳米芯片主要的机器是ASML光刻机,那就来了解一下它的生产原理和产能。

7纳米光刻机(7纳米光刻机是什么概念)

全球生产光刻机的设备少之又少,占主流还是荷兰的ASML公司,光刻机的制造非常的复杂,需要大量的研发人员,一台机器的造价就达到了上亿美元,而且需要提前预订,主要是供给了三星和台积电这两家芯片制造企业。

7纳米光刻机(7纳米光刻机是什么概念)

光刻机在加工芯片的过程中,通过光源,形状控制的方法,将光束射过线路图,处理好光学误差,再将线路图的比例缩小,用化学的方法将电路图刻在硅片上。在晶圆上开出各种微小的空间注入离子,生成PN节,构建千千万万的元器件,这些工艺流程完成后,在一个晶圆上才能形成芯片的原型,还要经过切割、封装、套入管脚,测试等这些流程,才能完成最终的芯片。

7纳米光刻机(7纳米光刻机是什么概念)

因为7nm的芯片的体积更小,要将千千万万的晶体管刻在这么小的晶元上,难度要比其它的芯片大得多, 如果在常规的设置状态下,EUV光刻机的工作效率会达到70WPH,但在生产中,实际效率只有50%,7nm芯片工艺难度增加,良率不高,算一下大约每天只能加工640片晶圆,月产能也就1.6万片左右。

7纳米光刻机(7纳米光刻机是什么概念)

7纳米芯片已经量产了有一段时间,由于工艺的特殊性,芯片制造商产能超负荷运转也无法满足市场需求, 导致很多厂商的产品跳票,影响销售。它们也在积极的改进生产工艺流程,提升产能。

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